НИТРИД АЛЮМИНИЯ. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ
https://doi.org/10.17073/1683-4518-2013-1-49-55
Аннотация
Обзорная статья.
Проведено исследование российских и зарубежных источников, опубликованных за последние 20 лет, по способам получения нитрида алюминия. Проанализированы как базовые и относительно простые техно-логии, так и нестандартные инновационные методики, позволяющие сформировать полную картину по способам получения нитрида алюминия в мире.
Об авторах
А. А. ЕлагинРоссия
А. Р. Бекетов
Россия
Доктор технических наук
М. В. Баранов
Россия
Доктор технических наук
Р. А. Шишкин
Россия
Список литературы
1. Pat. 7935325 US. Rare earth-activated a1uminum nitride powders and method of making / Bing H., Jonathan H. Tao, Madis R., Keith A. K1inedinst, Jan B. Ta1bot, Kai1ash A. Mishra; 2011.
2. Janes, R. A. Rapid so1id-state metathesis routes to a1uminum nitride / R. A.Janes, M. A. Low, R. B. Kaner // Inor¬ganic Chemistry. — 2003. — Vo1.42, № 8. — P. 2714 2719.
3. Axelbaum, R. L. Gas-phase combustion synthesis of a1uminum nitride powder. Twenty-Sixth Symposium / R. L. Axelbaum, C. R. Lottes, J. I. Huertas, L.J. Rosen ; ed. by A. R. Burgess, F. L. Dryer. — Pittsburgh : Combustion Institute, 1996. Twenty-Sixth Symposium. — P. 1891 1897.
4. Park, J. R. Gas-phase synthesis of A1N powders from A1G3-NH3-N2 / J. R. Park, S. W. Rhee, K. H. Lee // Journa! of Materia1s Science. — 1993. — Vo1. 28, № 1. — P. 57 64.
5. Pat. 3598526 US. Method for preparing monocrysta11ine a1uminum nitride / Gi1bert S. Layne, Gi1bert S. Layne. ; 1971.
6. Пат. 2074109 Российская Федерация. Способ получения нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Проскуряков Л. Д., Жукова Л. М., Рябов В. П.; 1997.
7. Пат. 2312060 Российская Федерация. Способ получения порошка нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Бекетов Д. А., Черный Н. Л. ; 2007.
8. Пат. 2106298 Российская Федерация. Способ получения нитевидного нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Жукова Л. М., Панюшкин А. К., Проскуряков Л. Д.; 1998.
9. Пат. 2312061 Российская Федерация. Способ получения нитевидного нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Анипко А. В., Малков В. Б., Черепанов А. Н., Шульгин Б. В. ; 2007.
10. Пат. 117153 Российская Федерация. Установка для получения порошкообразного нитрида алюминия высокой чистоты / Елагин А. А., Бекетов А. Р., Афонин Ю. Д., Бекетов Д. А., Баранов М. В., Шишкин Р. А.; 2012.
11. Kano. Formation mechanism of a1uminum nitride powder via organic precursor prepared from anhydrous a1uminum ch1oride and ethy1enediamine / Kano, Masataka, Hyodo, Takeo, Shimizu, Yasuhiro, Egashira, Makoto // NA0SITE : Nagasaki University's Academic 0utput SITE. — 2002. — Vo1. 32 (59). — P. 185 190.
12. Kroke, E. A1uminum nitride prepared by nitridation of a1uminum oxide precursors / E. Kroke, L. Loeffler, F. F. Lange, R. Riedel //Jour. of the Amer. Ceram. Soc. — 2002. — Vo1. 85, № 12. — P. 3117 3119.
13. Pat. 5356608 US. Preparation of a high purity a1uminum nitride antenna window by organometa11ic pyro1ysis / Joseph J. Gebhardt; 1994.
14. Jung, W. S. Synthesis of a1uminum nitride by a modified carbotherma1 reduction and nitridation method using basic dicarboxy1ate A1(III) comp1exes A1(0H)(Cn+2H2N04)-x(H20) (n = 3, 6, 8) / W. S.Jung, S. K. Ahn //Journa1 of the Euro¬pean Ceramic Society. — 2001. — Vo1. 21, № 1. — P. 79 85.
15. Qin, M. L. Synthesis of a1uminum nitride powder by carbotherma1 reduction of a combustion synthesis precur¬sor / M. L. Qin, X. L. Du, Z. X. Li, I. S. Humail, X. H. Qu //Materia1s Research Bu11etin. — 2008. — Vo1. 43, № 11. — P. 2954 2960.
16. Pat. 5260397 US. Thermoset po1ymeric precursor for a1uminum nitride / Jensen, James A. ; 1993.
17. Pat. 5110575 US. Process for producing sinterab1e crysta11ine a1uminum nitride powder / Wakimura, Kazuo, Tanaka, Masao, Hiai, Atsuhiko ; 1992.
18. Pat. A1 0558842 European. Process for preparing a1uminium nitride powder / Kataoka, Ryohei, Taga, Genji; 1992.
19. Pat. 2007-182340 Japan. A1uminum nitride powder, its production method / Yamazaki Masato, Mitsuishi Takeyuki, Tanaka Masao, Harada Isao ; 2007.
20. Pat. 5693305 US. Method for synthesizing a1uminum nitride whiskers / Vitha1 Revankar, Arvind Goe1 ; 1997.
21. Pat. 5219804 US. Process for preparing u1trafine a1uminum nitride powder / A1an W. Weimer, Gene A. Cochran, John P. Hen1ey, G1enn A. Eisman ; 1993.
22. Oh, J. T. The processing of cordierite g1asses contain¬ing A1N / J. T. Oh, P. Hing, H. S. Fong [et a1.] //Journa1 of Materia1s Processing Techno1ogy. — 1997. — Vo1. 63, № 1 3. — P. 851 854.
23. Xu, Y. S. Therma11y conducting a1uminum nitride po1ymer-matrix composites / Y. S. Xu, D. D. L. Chung, C. Mroz // Composites Part a-App1ied Science and Manufacturing. 2001. — Vo1. 32, № 12. — P. 1749 1757.
24. Pat. 6207288 US. Copper ink for a1uminum nitride / Terry B1oom; 2001.
25. Belyanin, A. F. App1ication of a1uminum nitride fi1ms for e1ectronic devices / A. F. Belyanin, L. L. Bouilov, V. V. Zhirnov [et a1.] // Diamond and Re1ated Materia1s. — 1999. — Vo1. 8, № 2 5. — P. 369 372.
26. Lee, C. K. Thick a1uminium nitride fi1ms deposited by room-temperature sputtering for u1trasonic app1ications / C. K. Lee, S. Cochran, A. Abrar [et a1.] // U1trasonics. — 2004. — Vo1. 42, № 1 9. — P. 485 490.
27. Moreira, M. A1uminum scandium nitride thin-fi1m bu1k acoustic resonators for wide band app1ications / M. Moreira, J. Bjurstrom, I. Katardjev, V. Yantchev // Vac¬uum. — 2011. — Vo1. 86, № 1. — P. 23 26.
28. Cibert, C. Pu1sed 1aser deposition of a1uminum nitride thin fi1ms for FBAR app1ications / C. Cibert, M. Chatras, C. Champeaux [et a1.] //App1ied Surface Science. — 2007. T. Vo1. 253, № 19. — P. 8151 8154.
29. Natesan, K. Deve1opment and performance of a1uminum nitride insu1ating coatings for app1ication in a 1ithium environment/ K. Natesan, C. B. Reed, D. L. Rink, R. C. Haglund //Journa1 of Nuc1ear Materia1s. — 1998. — Vo1. 258. P. 488 494.
30. Atarashiya K. A1uminum nitride meta1 composites us¬ing u1tra-fine a1uminum partic1es and their app1ication for joining / K. Atarashiya // Journa1 of Materia1s Processing Techno1ogy. — 1995. — Vo1. 54, № 1 4. — P. 54 59.
31. Li, M. S. Composite coatings of titanium-a1uminum Nitride for stee1 against corrosion indused by so1id NaC1 Deposit and water vapor at 600 °C / M. S. Li, F. H. Wang, Y. H. Shu [et a1.] // Materia1s Research. — 2004. — Vo1. 7. № 1. — P. 27 33.
Дополнительные файлы
Для цитирования: Елагин А.А., Бекетов А.Р., Баранов М.В., Шишкин Р.А. НИТРИД АЛЮМИНИЯ. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ. Новые огнеупоры. 2013;(1):49-55. https://doi.org/10.17073/1683-4518-2013-1-49-55
For citation: Elagin A.A., Beketov A.P., Baranov M.V., Shishkin R.A. ALUMINUM NITRIDE. METHODS OF PRODUCTION. NOVYE OGNEUPORY (NEW REFRACTORIES). 2013;(1):49-55. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1683-4518-2013-1-49-55
Обратные ссылки
- Обратные ссылки не определены.