НИТРИД АЛЮМИНИЯ. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ


https://doi.org/10.17073/1683-4518-2013-1-49-55

Полный текст:




Аннотация

Обзорная статья.

Проведено исследование российских и зарубежных источников, опубликованных за последние 20 лет, по способам получения нитрида алюминия. Проанализированы как базовые и относительно простые техно-логии, так и нестандартные инновационные методики, позволяющие сформировать полную картину по способам получения нитрида алюминия в мире.


Об авторах

А. А. Елагин
Уральский федеральный университет, Екатеринбург
Россия


А. Р. Бекетов
Уральский федеральный университет, Екатеринбург
Россия
Доктор технических наук


М. В. Баранов
Уральский федеральный университет, Екатеринбург
Россия
Доктор технических наук


Р. А. Шишкин
Уральский федеральный университет, Екатеринбург
Россия


Список литературы

1. Pat. 7935325 US. Rare earth-activated a1uminum nitride powders and method of making / Bing H., Jonathan H. Tao, Madis R., Keith A. K1inedinst, Jan B. Ta1bot, Kai1ash A. Mishra; 2011.

2. Janes, R. A. Rapid so1id-state metathesis routes to a1uminum nitride / R. A.Janes, M. A. Low, R. B. Kaner // Inor¬ganic Chemistry. — 2003. — Vo1.42, № 8. — P. 2714 2719.

3. Axelbaum, R. L. Gas-phase combustion synthesis of a1uminum nitride powder. Twenty-Sixth Symposium / R. L. Axelbaum, C. R. Lottes, J. I. Huertas, L.J. Rosen ; ed. by A. R. Burgess, F. L. Dryer. — Pittsburgh : Combustion Institute, 1996. Twenty-Sixth Symposium. — P. 1891 1897.

4. Park, J. R. Gas-phase synthesis of A1N powders from A1G3-NH3-N2 / J. R. Park, S. W. Rhee, K. H. Lee // Journa! of Materia1s Science. — 1993. — Vo1. 28, № 1. — P. 57 64.

5. Pat. 3598526 US. Method for preparing monocrysta11ine a1uminum nitride / Gi1bert S. Layne, Gi1bert S. Layne. ; 1971.

6. Пат. 2074109 Российская Федерация. Способ получения нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Проскуряков Л. Д., Жукова Л. М., Рябов В. П.; 1997.

7. Пат. 2312060 Российская Федерация. Способ получения порошка нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Бекетов Д. А., Черный Н. Л. ; 2007.

8. Пат. 2106298 Российская Федерация. Способ получения нитевидного нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Жукова Л. М., Панюшкин А. К., Проскуряков Л. Д.; 1998.

9. Пат. 2312061 Российская Федерация. Способ получения нитевидного нитрида алюминия / Афонин Ю. Д., Бекетов А. Р., Анипко А. В., Малков В. Б., Черепанов А. Н., Шульгин Б. В. ; 2007.

10. Пат. 117153 Российская Федерация. Установка для получения порошкообразного нитрида алюминия высокой чистоты / Елагин А. А., Бекетов А. Р., Афонин Ю. Д., Бекетов Д. А., Баранов М. В., Шишкин Р. А.; 2012.

11. Kano. Formation mechanism of a1uminum nitride powder via organic precursor prepared from anhydrous a1uminum ch1oride and ethy1enediamine / Kano, Masataka, Hyodo, Takeo, Shimizu, Yasuhiro, Egashira, Makoto // NA0SITE : Nagasaki University's Academic 0utput SITE. — 2002. — Vo1. 32 (59). — P. 185 190.

12. Kroke, E. A1uminum nitride prepared by nitridation of a1uminum oxide precursors / E. Kroke, L. Loeffler, F. F. Lange, R. Riedel //Jour. of the Amer. Ceram. Soc. — 2002. — Vo1. 85, № 12. — P. 3117 3119.

13. Pat. 5356608 US. Preparation of a high purity a1uminum nitride antenna window by organometa11ic pyro1ysis / Joseph J. Gebhardt; 1994.

14. Jung, W. S. Synthesis of a1uminum nitride by a modified carbotherma1 reduction and nitridation method using basic dicarboxy1ate A1(III) comp1exes A1(0H)(Cn+2H2N04)-x(H20) (n = 3, 6, 8) / W. S.Jung, S. K. Ahn //Journa1 of the Euro¬pean Ceramic Society. — 2001. — Vo1. 21, № 1. — P. 79 85.

15. Qin, M. L. Synthesis of a1uminum nitride powder by carbotherma1 reduction of a combustion synthesis precur¬sor / M. L. Qin, X. L. Du, Z. X. Li, I. S. Humail, X. H. Qu //Materia1s Research Bu11etin. — 2008. — Vo1. 43, № 11. — P. 2954 2960.

16. Pat. 5260397 US. Thermoset po1ymeric precursor for a1uminum nitride / Jensen, James A. ; 1993.

17. Pat. 5110575 US. Process for producing sinterab1e crysta11ine a1uminum nitride powder / Wakimura, Kazuo, Tanaka, Masao, Hiai, Atsuhiko ; 1992.

18. Pat. A1 0558842 European. Process for preparing a1uminium nitride powder / Kataoka, Ryohei, Taga, Genji; 1992.

19. Pat. 2007-182340 Japan. A1uminum nitride powder, its production method / Yamazaki Masato, Mitsuishi Takeyuki, Tanaka Masao, Harada Isao ; 2007.

20. Pat. 5693305 US. Method for synthesizing a1uminum nitride whiskers / Vitha1 Revankar, Arvind Goe1 ; 1997.

21. Pat. 5219804 US. Process for preparing u1trafine a1uminum nitride powder / A1an W. Weimer, Gene A. Cochran, John P. Hen1ey, G1enn A. Eisman ; 1993.

22. Oh, J. T. The processing of cordierite g1asses contain¬ing A1N / J. T. Oh, P. Hing, H. S. Fong [et a1.] //Journa1 of Materia1s Processing Techno1ogy. — 1997. — Vo1. 63, № 1 3. — P. 851 854.

23. Xu, Y. S. Therma11y conducting a1uminum nitride po1ymer-matrix composites / Y. S. Xu, D. D. L. Chung, C. Mroz // Composites Part a-App1ied Science and Manufacturing. 2001. — Vo1. 32, № 12. — P. 1749 1757.

24. Pat. 6207288 US. Copper ink for a1uminum nitride / Terry B1oom; 2001.

25. Belyanin, A. F. App1ication of a1uminum nitride fi1ms for e1ectronic devices / A. F. Belyanin, L. L. Bouilov, V. V. Zhirnov [et a1.] // Diamond and Re1ated Materia1s. — 1999. — Vo1. 8, № 2 5. — P. 369 372.

26. Lee, C. K. Thick a1uminium nitride fi1ms deposited by room-temperature sputtering for u1trasonic app1ications / C. K. Lee, S. Cochran, A. Abrar [et a1.] // U1trasonics. — 2004. — Vo1. 42, № 1 9. — P. 485 490.

27. Moreira, M. A1uminum scandium nitride thin-fi1m bu1k acoustic resonators for wide band app1ications / M. Moreira, J. Bjurstrom, I. Katardjev, V. Yantchev // Vac¬uum. — 2011. — Vo1. 86, № 1. — P. 23 26.

28. Cibert, C. Pu1sed 1aser deposition of a1uminum nitride thin fi1ms for FBAR app1ications / C. Cibert, M. Chatras, C. Champeaux [et a1.] //App1ied Surface Science. — 2007. T. Vo1. 253, № 19. — P. 8151 8154.

29. Natesan, K. Deve1opment and performance of a1uminum nitride insu1ating coatings for app1ication in a 1ithium environment/ K. Natesan, C. B. Reed, D. L. Rink, R. C. Haglund //Journa1 of Nuc1ear Materia1s. — 1998. — Vo1. 258. P. 488 494.

30. Atarashiya K. A1uminum nitride meta1 composites us¬ing u1tra-fine a1uminum partic1es and their app1ication for joining / K. Atarashiya // Journa1 of Materia1s Processing Techno1ogy. — 1995. — Vo1. 54, № 1 4. — P. 54 59.

31. Li, M. S. Composite coatings of titanium-a1uminum Nitride for stee1 against corrosion indused by so1id NaC1 Deposit and water vapor at 600 °C / M. S. Li, F. H. Wang, Y. H. Shu [et a1.] // Materia1s Research. — 2004. — Vo1. 7. № 1. — P. 27 33.


Дополнительные файлы

Для цитирования: Елагин А.А., Бекетов А.Р., Баранов М.В., Шишкин Р.А. НИТРИД АЛЮМИНИЯ. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ. Новые огнеупоры. 2013;(1):49-55. https://doi.org/10.17073/1683-4518-2013-1-49-55

For citation: Elagin A.A., Beketov A.P., Baranov M.V., Shishkin R.A. ALUMINUM NITRIDE. METHODS OF PRODUCTION. NOVYE OGNEUPORY (NEW REFRACTORIES). 2013;(1):49-55. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1683-4518-2013-1-49-55

Просмотров: 513

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


ISSN 1683-4518 (Print)