Refractory equipment for firing aluminum nitride substrates

Yu. K. Nepochatov; P. M. Pletnev; A. A. Denisova

doi:10.17073/1683-4518-2020-9-8-10

Refractory equipment for firing aluminum nitride substrates

Yu. K. Nepochatov, P. M. Pletnev, A. A. Denisova

https://doi.org/10.17073/1683-4518-2020-9-8-10

Full Text:

Abstract

The features of firing aluminitride substrates, characterized by a high temperature of more than 1800 ⁰С and the presence of a reducing environment, are described. It is shown that the high quality of substrates in parallelism, thermal conductivity, and other properties can be achieved, along with the establishment of optimal firing modes, using a special design of a capsule based on boron nitride, which is a container that consists of a body - a box of rectangular cross section, bottom and plane-parallel dividing plates with supports. To create a local (inside the capsule) clean recovery medium, thorn-groove interlocks between the body and the bottom are provided, filled with a heat-resistant inert powder.

Keywords

firing, refractory equipment, capsules, aluminitride substrates,

About the Authors

Yu. K. Nepochatov

АО «НЭВЗ-Керамикс»
Russian Federation

P. M. Pletnev

ФГБОУ ВО «Сибирский государственный университет путей сообщения»
Russian Federation

A. A. Denisova

АО «НЭВЗ-Керамикс»
Russian Federation

References

1. Кащеев, И. Д. Химическая технология огнеупоров / И. Д. Кащеев, К. К. Стрелов, П. С. Мамыкин. ― М. : Интермет Инжиниринг, 2007. ― 752 c.

2. Денисова, А. А. Влияние режима обжига и садки изделий на деформирование и физико-технические свойства алюмонитридной керамики / А. А. Денисова, П. М. Плетнев, А. А. Дитц, Ю. К. Непочатов // Огнеупоры и техническая керамика. ― 2017. ― № 6. ― С. 39‒43.

3. Непочатов, Ю. К. Разработка керамики на основе нитрида алюминия для изделий современной электроники / Ю. К. Непочатов, А. А. Земницкая, П. Ф. Муль, А. Х. Хабибул- лин // Современная электроника. ― 2011. ― № 9. ― С. 14‒18.

4. Денисова, А. А. Пути повышения качества теплопроводной алюмонитридной керамики / А. А. Денисова, П. М. Плетнев, А. А. Дитц, Ю. К Непочатов // Сб. тр. ХIV науч.-техн. конф. «Наука и молодежь ХХI века». ― 2016.

5. Непочатов, Ю. К. Особенности обжига алюмонитридной керамики / Ю. К. Непочатов, А. А. Денисова, П. М. Плетнев, И. Б. Красный // Вестник СГУПС. ― 2016. ― № 1. ― С. 27‒31.

6. Лютая, М. Д. Химическая и термическая устойчивость нитридов элементов III группы / М. Д. Лютая, В. Ф. Буханевич // Журнал неорганической химии. ― 1962. ― № 11. ― С. 87‒94.

7. Пат. 3169295 США, кл. 432-259 ; опубл. 05.07.1952.

8. Пат. 2037762 Российская Федерация, МПК F 27 D 5/00. Капсель для обжига керамических изделий / Кульмамиров Л. К., Сухинин В. А., Умудов А. С. ; заявл. 07.07.1992 ; опубл. 19.06.1995.

9. Пат. 2897571 США, кл. 432-259 ; заявл. 07.11.1955 ; опубл. 04.08.1959.

10. Пат. 153366 Российская Федерация, МПК F 27 D 5/00. Капсель для обжига керамических изделий / Непочатов Ю. К., Плетнев П. М., Денисова А. А., Швецова Ю. И. ; заявл. 04.12.2014 ; опубл. 20.07.2015, Бюл. № 20.

Supplementary files

For citation: Nepochatov Y.K., Pletnev P.M., Denisova A.A. Refractory equipment for firing aluminum nitride substrates. NOVYE OGNEUPORY (NEW REFRACTORIES). 2020;(9):7-9. https://doi.org/10.17073/1683-4518-2020-9-8-10

Refbacks

There are currently no refbacks.

ISSN 1683-4518 (Print)

Username
Password